Hardware Set-up

장비 구동을 최종 목적에 맞게 사용하기 위한각 모듈의 Part 설치, 모듈별 통신 설정/Check, Calibration, Line check, TTTM, Data Check 등 System Procedure를 통한 작업 입니다.

Work Process

• System Power Turn on
• Software installation & System check
• Utility turn on
  Check & Cal
• PM & Chiller Turn on
  Part install & Leak Check
• Gas Turn on
  Gas Calibration & Data setting
• Environment certification
  TTTM & All data check