Utility Hook up

System 장비 안착 및 각 모듈 도킹, 케이블 Hook up, 8계통 작업 등 전체 시스템을 사용할 위치에 설치하여 Power turn On 상태까지의 작업 입니다.

Work Process

• System Fab-in
• Part Inspection
• Mounting Module
  (EFFEM & VTM & GIB &
  Gasbox & Chamber)
• Cable Hook Up
  AC & UPS PW & Signal
• System Power Turn on